91干逼视频|亚洲AV无码成人网站久久|68av久久精品综合|无码视频在线观看|久久久无码|91在线无码精品秘蜜桃|久久国产欧美日韩精品免费|水多多无码视频在线观看

首頁 > 檢測中心 > 功率器件 > 材料 >

缺陷檢測與分析

設備：光學缺陷分析設備Candela CS920/ SICA 88

廠商：美國 KLA-Tencor Corporation/日本 Lasertec Corporation

用途：SiC/GaN/Si基板和外延（epi）晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)，可同時測量散射強度、形狀變化、表面反射率和相位轉(zhuǎn)移，為特征缺陷（DOI）進行自動偵測與分類。

技術指標：

l 檢測缺陷尺寸>0.1μm

l 最大樣品尺寸：6inch Wafer

l 超過30種DOI的缺陷分類

?